ГОСТ Р 8.700-2010: Государственная система обеспечения единства измерений. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа

Терминология ГОСТ Р 8.700-2010: Государственная система обеспечения единства измерений. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа оригинал документа:

3.10 абсолютная погрешность измерения: Погрешность измерения, выраженная в единицах измеряемой величины [1].

Определения термина из разных документов: абсолютная погрешность измерения

3.13 доверительные границы погрешности результата измерений: Наибольшее и наименьшее значения погрешности измерений, ограничивающие интервал, внутри которого с заданной вероятностью находится искомое (истинное) значение погрешности результата измерений [1].

Определения термина из разных документов: доверительные границы погрешности результата измерений

3.3 кадр сканирования (поверхности твердого тела): Пространственно локализованная часть поверхности, расположение которой и ее размеры введены в программу управления микроскопом.

Примечание - Расположение кадра сканирования задают точкой начала сканирования на поверхности твердого тела, направлением декартовых осей координат, линейными размерами и числом точек сканирования.

Определения термина из разных документов: кадр сканирования (поверхности твердого тела)

3.11 относительная погрешность измерения: Погрешность измерения, выраженная отношением абсолютной погрешности измерения к действительному или измеренному значению измеряемой величины [1].

Определения термина из разных документов: относительная погрешность измерения

3.9 погрешность результата измерения (погрешность измерения): Отклонение результата измерения от истинного (действительного) значения измеряемой величины [1].

Определения термина из разных документов: погрешность результата измерения (погрешность измерения)

3.4 радиус-вектор поверхности: Направленный отрезок, соединяющий начало координат кадра сканирования и точку, расположенную в пределах кадра сканирования.

Определения термина из разных документов: радиус-вектор поверхности

3.7 сканирование (неровностей поверхности твердого тела): Измерение высот неровностей поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.

Определения термина из разных документов: сканирование (неровностей поверхности твердого тела)

3.2 сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп (микроскоп): Зондовый атомно-силовой микроскоп с нормированными метрологическими характеристиками, формирующий информативный сигнал путем сканирования поверхности острием зонда.

Определения термина из разных документов: сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп (микроскоп)

3.12 среднеквадратическая погрешность результата измерений среднеарифметического:

Оценка случайной погрешности среднеарифметического значения результата измерений одной и той же величины в данном ряду измерений, вычисляемая по формуле

где X_i- результат i-го единичного измерения;

 - среднеарифметическое значение измеряемой величины из п единичных результатов;

п - число единичных измерений в ряду [1].

Определения термина из разных документов: среднеквадратическая погрешность результата измерений среднеарифметического

3.5 функция неровностей поверхности (твердого тела): Двумерная дискретная функция в декартовой системе координат, значения которой определяют по высотам неровностей поверхности, измеренным в заданных точках с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.

Определения термина из разных документов: функция неровностей поверхности (твердого тела)

3.6 функция спектральной плотности мощности поверхности твердого тела: Функция, равная квадрату модуля Фурье преобразования функции неровностей поверхности твердого тела.

Примечание - Функция спектральной плотности мощности поверхности твердого тела несет в себе полную статистическую информацию о распределении высот неровностей на поверхности по их линейным размерам.

Определения термина из разных документов: функция спектральной плотности мощности поверхности твердого тела

3.1 шероховатость поверхности (твердого тела): Совокупность неровностей поверхности с относительно малыми шагами, выделенная с помощью кадра сканирования зондового атомно-силового микроскопа.

Определения термина из разных документов: шероховатость поверхности (твердого тела)

3.8 эффективная высота шероховатости поверхности: Параметр шероховатости, равный среднеквадратическому отклонению высот неровностей поверхности, которое вычисляется интегрированием функции спектральной плотности мощности поверхности твердого тела.

Определения термина из разных документов: эффективная высота шероховатости поверхности